Как поддерживать чистоту в чистых комнатах класса 100
Когда вы управляете чистой комнатой класса 100, вам приходится постоянно бороться с невидимыми факторами загрязнения. Один микрон пыли – что-то, что даже невозможно увидеть – может испортить целую партию транзисторных пластин. Это раздражает. Обычно причиной является нечто неожиданное: сами нагревательные элементы.
Если лампы выделяют вредные вещества или откалываются мелкие частицы, это приводит к загрязнению производственного процесса. Поэтому мы используем синтетический кварц высокой чистоты для наших инфракрасных ламп.
Почему так важен материал
Большинство стекла или дешевого кварца не способны выдерживать высокие температуры. Они начинают разрушаться или откалываться под воздействием высоких температур. Это плохо.
Мы используем синтетический кварц, потому что он прочный. Он не подвержен химическому разрушению и не откалывается. Мы также стараемся, чтобы оболочка кварцевой лампы была плотно закрыта. Это предотвращает появление микроскопических пор, в которых может скапливаться грязь. Таким образом, поверхность транзисторных пластин остается чистой во время быстрой тепловой обработки.
Правильная температура
Инструменты для обработки транзисторных пластин очень чувствительны к скорости нагрева. Чтобы добиться нужного результата, мы корректируем диаметр филамента и напряжение, чтобы получить оптимальный спектр излучения.
Секрет в том, что коротковолновое инфракрасное излучение достигает поверхности пластина гораздо быстрее, чем длинноволновое. Это позволяет получить более равномерный тепловой профиль по всей поверхности пластина.
Но нужно быть осторожным с мощностью лампы. Они работают при высоких температурах. Если попытаться добиться нужной температуры, увеличивая напряжение слишком сильно, это приведет к быстрому разрушению филаментов. Нужно найти баланс между мощностью и способностью лампы к охлаждению.
Замена ламп без проблем
Мы спроектировали эти лампы так, чтобы их можно было легко заменить. Никаких сложностей. Коннекторы сделаны так, чтобы избежать трения, которое может привести к появлению пыли. Ведь последнее, что нужно во время замены, — это еще больше частиц в воздухе.
Лампа должна помещаться точно на свое место. Если она будет смещена хотя бы немного, инфракрасное излучение не будет достигать цели, и на поверхности пластина появятся горячие участки. Мы стремимся к максимально точному расположению лампы.
Еще один совет: попросите вашего персонала быть осторожными. Используйте только безворсовые салфетки и раствор IPA. Одна лишь отпечаток пальца на поверхности кварцевой лампы может привести к появлению постоянного пятна, что нарушит равномерное распределение тепла. Это сложно исправить, поэтому лучше избегать этого.