На линии производства находится пластина диаметром 200 мм, которая ждет своей очереди для обработки фотополимером. Процедура нагрева является обязательной — это часть технических требований. Даже незначительное изменение температуры на долю градуса может привести к изменению критических размеров пластины. В таком случае процесс становится бесполезным. Мы используем инфракрасные лампы для нагрева, чтобы минимизировать такие потери.
С технической точки зрения важно то, что мы используем кварцевые галогеновые лампы с коротковолновым излучением для быстрого и прямого нагрева. Спектр излучения хорошо проникает в кремний и тонкие слои. Система обеспечивает однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C во всей зоне обработки; повторяемость результатов составляет ±0,2°C от цикла к циклу.
Время реакции системы составляет менее 50 мс, что позволяет поддерживать постоянную температуру во время всех этапов обработки. Условия работы в чистой комнате также учитываются при проектировании: работа в классе 1–100 без образования частиц; это проверяется в процессе эксплуатации. Корпус лампы изготовлен из высокочистых материалов, что снижает уровень выделения газов.
Почему это работает там, где это необходимо:
В литографии необходима процедура нагрева, которая позволяет сохранить одинаковую толщину слоя фотополимера и устранить волновые явления. В процессе упаковки необходимо обеспечить свертывание полимерных материалов без перегрева. При очистке и сушке необходим контролируемый нагрев для удаления растворителей без возникновения изъянов на поверхности пластины.
Эти лампы обеспечивают такой контроль, при этом используя меньше энергии, чем конвекционные печи. Быстрое снижение температуры также сокращает время выполнения процесса. Мы видели, что приборы могут работать более 5,000 часов с потерей производительности менее 5% — это означает меньшее количество замен ламп и стабильные условия процесса.
Вот что нужно знать заранее:
Установка зависит от соответствия механических параметров и электрических интерфейсов оборудования. Необходимо учитывать напряжение, тип разъема и способ охлаждения — воздушное или водяное.
Излучение лампы распространяется по прямой линии, поэтому крепления и фиксаторы могут создавать тени и локальные зоны низкой температуры. Выравнивание и формирование луча являются частью процесса настройки, а не последующим шагом.
Ожидается короткий период адаптации, чтобы стабилизировать излучение и проверить однородность на вашей конкретной поверхности. После настройки процесс будет стабильным.