Почему именно направленное инфракрасное обогревание является оптимальным решением для чистых комнат
Большинство обогревателей работают путем нагрева воздуха вокруг себя, что в конечном итоге приводит к нагреву того объекта, который необходимо разогреть. В чистой комнате для производства полупроводников это создает массу проблем.
Когда нагревается вся внутренняя часть устройства, тепло не остается на месте — оно распространяется по всему устройству. В результате корпус устройства становится слишком горячим на ощупь, что представляет опасность для операторов. Кроме того, чувствительные датчики также начинают работать некорректно из-за высокой температуры.
Как мы решаем эту проблему
Мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Можно считать это своего рода фонариком, только излучающим тепло. Излучение движется по прямой линии; оно не влияет на воздух, через который проходит, а воздействует только на объект, который поглощает его энергию. Путем регулировки фокусного расстояния мы можем направить энергию прямо на пластину или подложку. Энергия попадает на цель и прекращает свое движение. Благодаря этому внутренние стенки устройства остаются прохладными.
Детали работы оборудования
Чтобы получить необходимую плотность тепла без разрушения корпуса устройства, мы используем лампы, работающие в режиме высокой интенсивности в кратковременных интервалах. Мы используем кварцевые стеклянные контейнеры, чтобы лампы могли мгновенно достичь необходимой температуры. Кроме того, мы используем специальные отражатели, чтобы сосредоточить поток тепла на нужной области. Это предотвращает распространение тепла по всему корпусу устройства.
Однако следует быть осторожным: если зеркало настроено некорректно, даже на несколько градусов, тепло будет распространяться не на пластину, а на внутренние компоненты устройства.
Что это значит для повседневной эксплуатации
Самое лучшее — это отказ от использования больших внутренних вентиляторов. Они шумные, к тому же создают пыль, которая совершенно не нужна в чистой комнате. Благодаря этому время разогрева сокращается, а корпус устройства не становится слишком горячим при касании.
Еще один совет: убедитесь, что блок питания может выдержать начальный пик тока, возникающий при включении ламп. Если провода слишком тонкие, возникнут падения напряжения, и стабильность температуры будет нарушена.