Na linii produkcyjnej nie ma możliwości poprawki, jeśli temperatura podczas procesu suszenia wzrośnie choćby o niewielką wartość. Nawet niewielka odchylenie temperatury podczas suszenia fotorezystu może zniszczyć całą płytkę mikro-LED. Potrzebny jest grzejnik, który utrzymuje temperaturę w przedziale ±0,1°C na całej powierzchni płytki – przy każdym procesie suszenia, przy każdej zmianie.
Co jest ważne w tym procesie? Używamy elementów podczerwieni o krótkich falach, które są sterowane za pomocą szybkich systemów kontroli zamkniętego obwodu, dzięki czemu parametry termiczne pozostają stałe z godziny na godzinę. Jednorodność temperatury na całej powierzchni płytki musi wynosić ±0,1°C, a strefa nagrzewania musi być projektowana tak, aby mogła funkcjonować w warunkach klasy czystości 1–100, bez tworzenia się cząstek.
Procesy suszenia można podzielić na „miękki” i „twardy”. Dzięki temu można kontrolować krytyczne wymiary płytki. Dzięki ścisłej kontroli temperatury, jakość produktu jest lepsza, a ilość odpadów zmniejsza się. Zużycie energii również jest umiarkowane: precyzyjna kontrola czasu pracy oraz niskie straty energii sprawiają, że koszty operacyjne są niskie, a prędkość produkcji nie spada.
Szczegóły, które mogą mieć wpływ na efektywność procesu Te grzejniki mogą być zainstalowane w istniejących urządzeniach za pomocą standardowych interfejsów mechanicznych i elektrycznych. Jednak konieczne jest dopasowanie ustawień grzejnika do specyfikacji urządzenia. Potrzebna jest również procedura kalibracji, aby dostosować parametry grzejnika do specyfikacji używanego fotorezystu i podłoża. Jeśli pracujesz w warunkach wysokiej wilgotności, musisz zadbać o efektywną obsługę kondensatu – my już z góry określamy odpowiednie ustawienia dla wentylacji.
Gdy jakość produktu zależy od temperatury, kontrola jest niezbędna. Konieczne jest doboru grzejnika odpowiedniego do specyfikacji procesu, aby proces mógł przebiegać prawidłowo.