Na linii produkcji znajduje się płyta o rozmiarze 200 mm, która czeka na aplikację fotorezystu. Proces suszenia jest konieczny – stanowi element wymagań technicznych. Nawet niewielka zmiana temperatury o ułamek stopnia może wpłynąć na rozmiary płyty. W takim przypadku proces staje się nieskuteczny. Aby uniknąć tego problemu, zastosowaliśmy lampy podczerwieni do ogrzewania płyty.
Pod względem technicznym istotne jest to, że używamy halogenowych emiterów podczerwieni o krótkich falach, aby uzyskać szybkie i efektywne ogrzewanie. Spektrum światła dobrze przenika do krzemu oraz cienkich warstw. System zapewnia jednolitość temperatury na poziomie płyty w przedziale ±0,1°C w całej strefie procesowej, natomiast powtarzalność wynosi ±0,2°C między poszczególnymi cyklami.
Czas reakcji systemu wynosi mniej niż 50 ms, więc można utrzymać stałą temperaturę podczas procesu suszenia. Projekt urządzenia uwzględnia również wymagania dotyczące czystości – pracuje w warunkach klasy 1–100 bez powstawania cząstek, a obudowa lampy jest wykonana z materiałów wysokiej czystości, aby zmniejszyć ilość wydzielających się gazów.
Dlaczego to działa tam, gdzie jest to konieczne? W litografii potrzebny jest proces suszenia, który umożliwi utrzymanie określonej grubości fotorezystu i eliminację fal stojących. W procesach pakowania konieczne jest uszlachetnienie materiału bez przegrzewania warstwy pod spodem. Podczas czyszczenia i suszenia potrzebne jest kontrolowane ogrzewanie, aby usunąć rozpuszczalniki, bez powstawania niepożądanych efektów.
Te lampy umożliwiają tę kontrolę, przy jednoczesnym zużywaniu mniej energii niż pieców konwekcyjnych. Szybkie schładzanie también skraca czas cyklu. Widzieliśmy, jak urządzenia mogą pracować przez ponad 5 000 godzin z stratą wydajności poniżej 5% – co oznacza mniej konieczności wymiany lamp oraz bardziej stabilny proces.
Oto co należy wiedzieć przed zakupem: instalacja polega na dopasowaniu mechanicznych parametrów urządzenia oraz interfejsu elektrycznego. Należy znać wartość napięcia, typ konektora oraz sposób chłodzenia – powietrzem lub wodą – przed dokonaniem zamówienia.
Światło emitowane przez lampy musi mieć możliwość swobodnego przechodzenia, więc uchwyty i inne elementy mogą tworzyć cienie i lokalne obszary o niższej temperaturze. Dlatego alignment i kształtowanie wiązki światła są częścią procedury instalacji, a nie czymś dodatkowym.
Oczekuje się krótkiego okresu adaptacji urządzenia, aby ustabilizować jego pracę i sprawdzić jednolitość temperatury na danym substracie. Gdy już to osiągniemy, proces pozostanie stabilny.