Houd je Class 100-schoonruimte echt schoon
Wanneer je een Class 100-schoonruimte bezit, is zelfs het kleinste beetje stof al een ramp. In de halfgeleiderindustrie zijn de echte vijanden uitgasvorming en materialen die gewoon uiteenvallen. Om dit te voorkomen, maken we gebruik van een eenvoudig systeem: infraroodlampen gemaakt van hoogzuiver kwarts en bedrading die is geïsoleerd met Teflon.
Het voordeel van hoogzuiver kwarts
We gebruiken synthetisch gefuseerd kwarts voor de lampen. Veel gewone glazen kunnen de hitte niet aan – ze beginnen dan ionen los te laten of microscopische deeltjes af te scheiden. Dat is een nachtmerrie voor je wafers.
Deze lampen gebruiken kortegolfige infraroodstraling. In plaats van de lucht rondom de lamp op te warmen, gaat de energie rechtstreeks naar het materiaal dat wordt verwarmd. Dit is erg handig, want zo worden er geen stofdeeltjes gegenereerd die op het werkoppervlak terechtkomen.
Waarom we per se Teflon gebruiken
Standards PVC- of siliconenbedrading kan de hitte niet aan. Als deze warm worden, geven ze vluchtige organische verbindingen af. Die dampen blijven op het silicium zitten, waardoor het hele product nutteloos wordt.
Daarom gebruiken we bedrading die is bedekt met PTFE (Teflon). Hierdoor kan de bedrading de hitte goed verdragen, zonder dat er schade optreedt. Geen rook, geen losse delen – alleen maar schone energie.
Enkele tips voor ingenieurs
Kijk uit: hoogzuiver kwarts is broos. Het kan wel veel hitte verdragen, maar als je het per ongeluk beschadigt tijdens de installatie, zal het breken. Zorg ervoor dat de bevestigingspunten wat flexibel zijn, zodat er geen spanningen ontstaan.
Houd ook rekening met de bedrading. Teflon buigt niet zo gemakkelijk als siliconen. Als je de bedrading te strak maakt, kan de isolatie beschadigd raken. Laat de bedrading dus wat losser zitten.
Samenvatting
Als je kwarts combineert met PTFE, krijg je een verwarmingssysteem dat geen enkele lekken vertoont. Je krijgt de benodigde hitteintensiteit voor snel drogen of helen, zonder dat je te maken hebt met stofdeeltjes in de lucht. Het werkt gewoon goed.