Kebanyakan elemen pemanas biasa hanya memancarkan haba ke semua arah. Dalam alat semikonduktor yang sempit, ini merupakan masalah besar. Haba yang terhasil akan meresap ke dinding peralatan tersebut. Apabila bahagian dalam peralatan menjadi terlalu panas sehingga tidak boleh disentuh, bukan sahaja masalah stabiliti haba yang timbul, malah ia juga merupakan pelanggaran aspek keselamatan.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan lampu IR berkuasa tinggi bersama-sama dengan kulit luar yang diperbuat daripada keluli tahan karat.
Membawa haba ke tempat yang sepatutnya
Pemanasan secara terarah bukan hanya bergantung pada lampu itu sendiri. Ia juga bergantung pada reflektor dan kulit luar yang digunakan untuk mengarahkan gelombang IR ke arah wafer atau substrat. Kami menggunakan keluli tahan karat atau aluminium yang telah diproses dengan baik untuk memantulkan gelombang IR tersebut ke arah yang dikehendaki.
Dengan melindungi sisi dan bahagian belakang peralatan, haba tidak akan meresap ke bahagian lain. Hasilnya, dinding luar peralatan tetap sejuk, dan haba akan sampai ke tempat yang sepatutnya sahaja.
Butiran berkaitan bahan yang digunakan
Kami memilih keluli tahan karat sebagai bahan untuk kulit luar peralatan, kerana ia mampu menahan tekanan yang tinggi, terutamanya dalam persekitaran kimia yang keras. Ia tidak akan bengkok walaupun berhadapan dengan beban haba yang tinggi semasa proses pemprosesan semikonduktor.
Namun, rahsia sebenarnya terletak pada geometri reka bentuk kulit luar tersebut. Kulit luar perlu memegang lampu dengan tepat. Jika reflektor sedikit menyimpang, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada bahan yang diproses menjadi terlalu panas, dan itu merupakan masalah besar.
Beberapa perkara yang perlu diingat
Kulit luar peralatan ini memerlukan ruang yang lebih besar. Anda tidak boleh meletakkannya begitu saja di tempat yang direka untuk coil pemanas biasa. Anda perlu memastikan kedalaman reflektor sesuai, dan meninggalkan ruang udara agar kulit luar peralatan tidak menjadi terlalu panas.
Selain itu, gunakan wayar yang tahan suhu tinggi untuk sambungan elektrik. Walaupun kulit luar peralatan dapat melindungi badan peralatan, kepala lampu masih dapat menjadi sangat panas.
Jangan lupa tentang sistem pengudaraan. Jika aliran udara terhalang, umur lampu akan berkurangan. Pastikan aliran udara lancar, agar lampu dapat bertahan lebih lama.