웨이퍼 린스 건조기용 쿼츠 히터

Fab 라인에서 물자국이 남거나 ±0.1°C 이내에서 온도를 유지하지 못하는 린스 드라이어는 단순한 병목 구간이 아니라 수율 저하의 원인이다. 클린 린스 단계에서 나온 웨이퍼는 열 스트레스 없이, 포토레지스트 왜곡 없이, 입자가 첨가되지 않은 상태로 수분을 제거해야...