클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 청정실에서는 아주 작은 양의 먼지라도 치명적인 문제가 됩니다. 반도체 산업에서는 가스 방출과 재료의 분해와 같은 문제들이 심각한 위협이 됩니다. 이러한 문제를 막기 위해 우리는 고순도 석영 적외선 램프와 테플론으로 절연된 전선을 사용합니다.
고순도 석영의 장점
램프의 외부 코팅으로는 합성된 융합 석영을 사용합니다. 일반 유리는 열에 견디지 못해 이온이 빠져나오거나 미세한 조각들이 떨어집니다. 이는 웨이퍼에 치명적인 손상을 줍니다.
이 램프들은 단파 적외선을 사용하기 때문에 주변 공기가 달아오르는 것이 아니라 에너지가 직접 기판으로 전달됩니다. 이로 인해 먼지가 발생하는 것을 막을 수 있습니다.
테플론을 사용하는 이유
일반적인 PVC나 실리콘 전선은 열에 약합니다. 열이 가해지면 휘발성 유기 화합물이 방출됩니다. 그 결과 먼지가 실리콘 위에 내려앉아 전체 제품이 버려지게 됩니다.
그래서 우리는 PTFE(테플론)로 코팅된 전선을 사용합니다. 이 전선은 열에도 잘 견디며, 연기나 먼지가 발생하지 않습니다.
엔지니어들을 위한 팁
고순도 석영은 깨지기 쉽습니다. 열충격에는 강하지만, 설치할 때 충격을 받으면 금이 갈 수 있습니다. 그러니 마운팅 브라켓에 약간의 여유를 두어 스트레스가 가해지지 않도록 하는 것이 중요합니다.
또한 전선도 주의해야 합니다. 테플론은 실리콘처럼 쉽게 구부러지지 않습니다. 전선이 구부러지면 절연이 손상될 수 있으니, 전선을 조금 느슨하게 두는 것이 좋습니다.
결론
석영과 PTFE를 함께 사용하면 오염물질이 전혀 발생하지 않는 난방 시스템이 만들어집니다. 빠른 경화나 건조를 위해 필요한 열 밀도를 얻을 수 있으며, 공기 중의 먼지와도 싸울 필요가 없습니다. 그냥 효과적으로 작동하는 것입니다.