Come mantenere una camera pulita di Classe 100 effettivamente pulita
Quando si gestisce una camera pulita di Classe 100, anche la minima quantità di polvere può rappresentare un problema grave. Nel settore dei semiconduttori, i veri nemici sono i gas che si liberano dai materiali utilizzati e quei materiali stessi che, col tempo, si deteriorano. Per evitare questo, utilizziamo una soluzione semplice: lampade a infrarossi in quarzo ad alta purezza e cavi isolati con Teflon.
Il vantaggio del quarzo ad alta purezza
Per realizzare le lampade, utilizziamo quarzo sintetico fuso. La maggior parte dei tipi di vetro non riesce a resistere al calore: inizia infatti a rilasciare ioni o frammenti microscopici. Questo rappresenta un grosso problema per le wafer. Le lampade a infrarossi utilizzano radiazioni a corta lunghezza d’onda; l’energia viene trasferita direttamente sul substrato, senza riscaldare l’aria circostante. Questo evita che le correnti convettive sollevino polvere e la depositino direttamente sulle superfici di lavoro.
Perché insistiamo sull’uso del Teflon
I cavi in PVC o silicone, invece, non tollerano bene il calore: quando si riscaldano, rilasciano composti organici volatili. Questi vapori si depositano sul silicio, rendendo inutilizzabili tutti i componenti prodotti. Ecco perché utilizziamo cavi rivestiti con PTFE (Teflon): essi resistono al calore senza problemi. Nessun fumo, nessuna deformazione. Solo energia pulita.
Alcuni consigli per gli ingegneri
Attenzione: il quarzo ad alta purezza è fragile. È resistente agli shock termici, ma se subisce danni durante l’installazione, si rompe. Assicuratevi che i supporti di fissaggio abbiano una certa flessibilità, in modo da evitare punti di stress. Inoltre, fate attenzione ai cavi: il Teflon non si piega facilmente come il silicone. Se si piegano, il rivestimento può danneggiarsi. Lasciate quindi i cavi leggermente meno tesi per evitare problemi.
In sintesi
Quando si combinano il quarzo ad alta purezza con il PTFE, si ottiene un sistema di riscaldamento efficiente e privo di perdite. Si ottiene così la densità termica necessaria per una rapida essiccazione o cottura, senza dover lottare contro le particelle presenti nell’aria. Funziona semplicemente bene.