Mempertahankan Kondisi Ruang Bersih Kelas 100 yang Bersih
Saat mengelola ruang bersih kelas 100, Anda harus terus-menerus berjuang melawan hal-hal yang tak terlihat. Sebuah partikel debu sebesar satu mikron saja—yang bahkan tidak bisa dilihat oleh mata—cukup untuk merusak seluruh batch wafer yang ada. Hal ini sangat menyebalkan. Biasanya, penyebabnya adalah hal yang tak terduga: komponen pemanas itu sendiri.
Jika lampu tersebut mengeluarkan gas atau partikel-partikel kecil, maka hal tersebut justru akan menyebabkan kontaminasi dalam proses produksi. Itulah mengapa kami menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi untuk lampu IR kami.
Mengapa bahan penting?
Kaca atau kuarsa murahan umumnya tidak mampu menahan panas yang tinggi. Bahan-bahan tersebut akan rusak atau terkelupas akibat beban panas yang berlebihan. Itu tentu bukan hal yang baik.
Kami menggunakan kuarsa sintetis karena bahan ini sangat tahan terhadap panas. Bahan ini juga tidak mudah terkikis secara kimia dan tidak akan terkelupas. Kami juga memastikan bahwa lapisan kuarsa tersebut benar-benar rapat, sehingga tidak ada pori-pori kecil tempat kotoran bisa bersembunyi. Dengan begitu, permukaan wafer tetap bersih selama proses pemanasan berlangsung.
Menyetel suhu dengan tepat
Alat-alat untuk memanaskan wafer sangat sensitif terhadap laju peningkatan suhu. Untuk mendapatkan hasil yang optimal, kami menyesuaikan diameter filamen dan tegangan listriknya agar output spektralnya tepat.
Faktor penting lainnya adalah gelombang inframerah pendek yang sampai ke permukaan wafer lebih cepat daripada gelombang inframerah panjang. Hal ini memberikan profil termal yang lebih konsisten di seluruh permukaan wafer.
Namun, perlu berhati-hati saat menentukan tegangan listrik. Lampu-lampu ini menghasilkan panas yang tinggi. Jika Anda mencoba meningkatkan tegangan secara berlebihan, filamen lampu akan cepat rusak. Anda perlu menyeimbangkan daya yang digunakan dengan kapasitas pendinginan alat tersebut agar ujung-ujung lampu tidak rusak.
Mengganti lampu tanpa masalah
Kami merancang lampu-lampu ini sedemikian rupa sehingga mudah diganti. Tidak perlu repot-repot. Connector-nya dirancang khusus agar tidak menimbulkan debu saat penggantian lampu. Hal ini sangat penting, karena hal terakhir yang kita inginkan adalah adanya partikel-partikel tambahan di udara.
Posisi lampu harus tepat. Jika posisinya sedikit saja salah, sinar inframerah tidak akan mengenai sasaran yang dituju, sehingga akan terbentuk titik-titik panas pada wafer. Kami memastikan toleransi posisi lampu sangat ketat, sehingga lampu berada tepat di posisi yang diharapkan.
Satu hal lagi: mintalah teknisi Anda untuk berhati-hati. gunakan hanya kain pembersih yang bebas debu dan cairan IPA. Jejak jari sekecil apa pun pada permukaan kuarsa akan menyebabkan bekas yang permanen, yang akan mengganggu distribusi panas. Memperbaiki hal ini membutuhkan waktu yang lama, jadi lebih baik hindarilah hal tersebut.