Mengapa Pemanasan Inframerah Berarah Itu Sangat Efektif untuk Ruang Bersih
Sebagian besar pemanas bekerja dengan memanaskan udara di sekitarnya, sehingga akhirnya udara tersebut memanaskan benda yang ingin dipanaskan. Di ruang bersih untuk industri semikonduktor, hal ini justru menimbulkan masalah.
Ketika seluruh bagian dalam mesin dipanaskan, panas tersebut tidak akan tetap berada di tempatnya. Panas tersebut akan merambat ke bagian lain dari mesin. Akibatnya, permukaan mesin menjadi sangat panas, sehingga membahayakan keselamatan para operator. Selain itu, sensor-sensor sensitif juga akan rusak karena terkena panas yang berlebihan.
Bagaimana cara mengatasinya
Kami menggunakan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek sebagai penggantinya. Bayangkan saja seperti senter, tetapi yang menghasilkan panas. Radiasi yang dihasilkan bergerak secara lurus. Radiasi tersebut tidak mengganggu udara di sekitarnya; ia hanya mempengaruhi benda yang menyerapnya. Dengan menyesuaikan jarak fokusnya, kita dapat mengarahkan energi tersebut tepat ke wafer atau substrat yang ingin dipanaskan. Energi tersebut akan berhenti di targetnya saja. Karena dinding bagian dalam peralatan tidak berada dalam garis pandang langsung dari radiasi tersebut, maka dinding-dinding tersebut tetap dingin.
Detail mengenai perangkat kerasnya
Untuk mendapatkan intensitas panas yang diperlukan tanpa membuat casing peralatan meleleh, kami menggunakan lampu-lampu ini dalam mode siklus pendek dengan intensitas tinggi. Kami juga menggunakan kemasan dari kaca kuarsa agar lampu tersebut dapat mencapai suhu yang tinggi secara cepat. Selain itu, kami menggunakan reflektor khusus untuk menjaga agar sinar panas tetap terfokus. Dengan demikian, panas tidak akan menyebar ke bagian lain dari mesin.
Satu hal yang perlu diperhatikan: pastikan alat penyesuai arah sinar tersebut berfungsi dengan baik. Jika sudut penyesuaian tersebut salah, maka wafer tidak akan dipanaskan dengan baik—sebaliknya, kabel-kabel dan panel internal mesin akan rusak.
Manfaatnya bagi operasional harian
Hal terbaiknya adalah Anda tidak perlu menggunakan kipas pendingin internal yang berukuran besar. Kipas-kipas tersebut menghasilkan suara yang bising, dan yang lebih penting lagi, kipas-kipas tersebut dapat menyebabkan partikel-partikel berbahaya muncul di ruang bersih. Dengan menggunakan lampu inframerah berarah, waktu pemanasan menjadi lebih cepat, dan casing mesin pun tidak akan terlalu panas sehingga tidak membahayakan tangan pengoperasinya.
Hanya satu hal yang perlu diperhatikan: pastikan suplai daya mampu menahan lonjakan arus listrik saat lampu-lampu tersebut dihidupkan. Jika kabelnya terlalu tipis, maka tegangan listrik akan menurun, dan konsistensi suhu pun akan terganggu.