क्यों शुद्धिकरण कक्षों में केवल दिशात्मक इन्फ्रारेड हीटिंग ही उपयुक्त है?
अधिकांश हीटर, अपने आसपास की हवा को गर्म करके काम करते हैं; इससे वह वस्तु भी गर्म हो जाती है जिसे गर्म करना है। लेकिन सेमीकंडक्टर शुद्धिकरण कक्षों में ऐसा करने से समस्याएँ पैदा हो जाती हैं।
जब किसी मशीन के अंदरूनी हिस्सों को गर्म किया जाता है, तो वह गर्मी वहीं नहीं रहती; बल्कि वह दूसरी जगहों पर भी फैल जाती है। इससे मशीन का बाहरी हिस्सा बहुत गर्म हो जाता है… जो कि ऑपरेटरों के लिए खतरनाक है। साथ ही, संवेदनशील सेंसर भी गर्मी के कारण काम नहीं कर पाते।
हम इस समस्या को कैसे हल करते हैं?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं। इन्हें टॉर्च की तरह ही सोचें… लेकिन ये गर्मी उत्पन्न करते हैं।
इन लैंपों से निकलने वाली ऊर्जा सीधी रेखा में ही जाती है… यह उस हवा को प्रभावित नहीं करती, बल्कि केवल उस वस्तु को ही गर्म करती है जो उस ऊर्जा को अवशोषित करती है। फोकल लंबाई को नियंत्रित करके, हम उस ऊर्जा को सीधे वेफर/सब्सट्रेट पर ही भेज सकते हैं।
ऊर्जा लक्ष्य तक पहुँचकर वहीं रुक जाती है… इससे मशीन की आंतरिक दीवारें ठंडी ही रहती हैं।
हार्डवेयर संबंधी जानकारी
जरूरी गर्मी प्राप्त करने हेतु, हम इन लैंपों को उच्च-तीव्रता वाले, छोटे-छोटे चक्रों में ही चलाते हैं। हम क्वार्ट्ज ग्लास का उपयोग करते हैं… ताकि लैंप तुरंत ही उच्च तापमान तक पहुँच सकें।
साथ ही, हम विशेष रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं… ताकि ऊर्जा केवल लक्ष्य तक ही जाए… और मशीन के अन्य हिस्सों में न जाए।
एक सावधानी: अपने रिफ्लेक्टरों की सही स्थिति का ध्यान रखें… यदि रिफ्लेक्टर कुछ डिग्री भी तिरछा हो जाए, तो आप वेफर को गर्म नहीं कर पाएंगे… बल्कि मशीन के आंतरिक हिस्से ही जल जाएंगे।
इसका आपके दैनिक कार्यों पर क्या प्रभाव पड़ेगा?
सबसे अच्छी बात यह है कि आपको उन बड़े आंतरिक कूलिंग फैनों की आवश्यकता ही नहीं है… क्योंकि वे बहुत शोर पैदा करते हैं… और शुद्धिकरण कक्षों में ऐसे कणों की उपस्थिति अवांछनीय है।
इससे मशीन जल्दी ही गर्म हो जाती है… और मशीन का बाहरी हिस्सा भी गर्म नहीं होता।
एक और सावधानी: ध्यान रखें कि आपका पावर सप्लाई, लैंपों के चालू होने पर उत्पन्न होने वाले तीव्र वोल्टेज को सहन कर सके… यदि आपकी वायरिंग पतली है, तो वोल्टेज में गिरावट आ जाएगी… और तापमान भी अस्थिर हो जाएगा।