נורת חימום למסלול וופרים

בקומת הליתוגרפיה, אפיית רכות שמשתנה אפילו במעלה אחת מוסרת את עובי הפוטורזיסט מהתקן. אי-הומוגניות באפיית הקשה? זו הזמנה לקריסת הדפוס. מנורות החימום...