ממש לפני האריזה, כל הלחות שנשארת לאחר הניקוי לא נשארת במקומה – היא יכולה לחדור לחומר האקסקלוסיבי. דבר זה משנה את ה-CTE, ועלול לגרום להיפרדות של החומרים בהמשך. ואם אתם עדיין משתמשים בפלטות חימום רגילות, אתם יודעים את הבעיות: הישויות שנוצרות בקצוות השבבים הן בעיה קשה, ויצירת חלקיקים היא בעיה שאי אפשר להרשות לעצמכם. יש צורך בתהליכי ייבוש וטיפול בחומרים שיהיו נקיים, חוזרים על עצמם, ויהיו יעילים מבחינה תרמית.
מה באמת חשוב בתהליך הייבוש אנו משתמשים באור NIR בגלי אור קצרים, עם גופי פלטה מקוורץ, שמותאמים לספקטרום הספיגה של מים וחומרים ממסים. דבר זה מאפשר חימום מהיר של החומרים מתחת לפני השטח, מבלי לפגוע בחומרים האורגניים. על פני השטח הפעיל, האחידות שומרת על ערך של ±0.1°C, ושליטה בקצב החימום נעשית בטווח של ±0.5°C/שנייה. הפלטפורמה מתאימה לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ואנו יכולים לוודא שאין יצירה של חלקיקים בגודל של פחות מ-0.1 μm, בקצב של 0.35 μm/דקה. תהליכי החימום נשארים חוזרים על עצמם מלאי למלאי, כך ששליטה בממדים החשובים נשמרת.
למה זה עובד טוב בשלב ההכנה לאריזה במפעלי ההכנה לאריזה, התהליך פשוט: ייבוש השבבים, ולאחר מכן טיפול בחומרים האקסקלוסיביים. אור NIR מקטין את הצריכה התרמית, מקצר את זמן החימום, ומפחית את צריכת האנרגיה. התוצאה היא תהליכים מהירים יותר, פחות לחות, ופחות שבבים פגומים. מכיוון שאותה פלטפורמה משמשת לשני התהליכים, האימות נעשה קל יותר, וצריכת החלקים החלופיים פוחתת.
הדברים שצריך ללמוד בדרך הקשה אור NIR דורש חיבור ישיר, כך שיש צורך בגופי פלטה משקפים ובכיוון נכון של השבבים כדי לשמור על אחידות. מרחק הגופי פלטה ועוצמת האור צריכים להתאים לגודל השבבים ולשכבות החומרים, כך שאנו יוצרים את התהליך יחד. יש צורך בניסויים ראשוניים כדי לוודא את קצב החימום וזמן החימום. לאחר מכן, התהליך יכול להתבצע באופן אחיד, ללא שינויים.