Maintenir les salles propres de classe 100 vraiment propres
Lorsque vous gérez une salle propre de classe 100, vous devez constamment lutter contre des éléments invisibles. Un seul micron de poussière – quelque chose que l’on ne peut même pas voir – suffit à gâcher toute une série de wafer. C’est frustrant. Et généralement, la cause du problème est quelque chose dont on ne se douterait jamais : vos éléments chauffants.
Si vos lampes émettent des gaz ou des particules微小的, vous favorisez ainsi la contamination de votre processus. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes infrarouges.
Pourquoi le matériau est important
La plupart des verres ou des quartz bon marché ne résistent pas au chaud. Ils commencent à se dégrader ou à s’effriter sous une forte charge thermique. Ce n’est pas idéal.
Nous utilisons du quartz synthétique parce qu’il est résistant. Il ne se détériore pas chimiquement et ne s’effrite pas non plus. Nous veillons également à ce que l’enveloppe en quartz soit hermétiquement fermée. Cela évite l’apparition de pores microscopiques où la saleté peut se cacher, permettant ainsi à la surface des wafer de rester impeccable pendant les traitements thermiques rapides.
Assurer une bonne régulation de la température
Les outils utilisés pour les wafer sont très exigeants en termes de vitesse de chauffage. Pour obtenir le résultat souhaité, nous ajustons le diamètre du filament et la tension électrique afin d’obtenir une distribution thermique uniforme sur toute la surface du wafer.
Le truc, c’est que les ondes infrarouges de courte longueur d’onde atteignent la surface du wafer beaucoup plus rapidement que celles de longue longueur d’onde. Cela permet d’obtenir un profil thermique plus précis et plus uniforme.
Mais il faut faire attention à la puissance utilisée. Ces lampes deviennent très chaudes. Si vous essayez d’atteindre une température cible en augmentant trop la tension, vous abîmerez rapidement les fils de la lampe. Il s’agit donc de trouver un équilibre entre la puissance et la capacité de refroidissement de la lampe.
Remplacer les lampes sans problème
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être remplacées facilement. Pas de complications. Les connecteurs sont spécialement conçus pour éviter toute formation de poussière – car la dernière chose dont vous avez besoin lors du remplacement, c’est encore plus de particules dans l’air.
L’installation doit être parfaite. Si la lampe n’est pas correctement installée, le faisceau infrarouge ne touchera pas correctement la surface du wafer, ce qui entraînera des points chauds sur celui-ci. Nous maintenons donc des tolérances très strictes afin que la lampe soit placée exactement là où elle doit l’être.
Une dernière chose : demandez à vos techniciens d’être prudents. Utilisez uniquement des chiffons sans poils et de l’alcool isopropylique. Une seule empreinte digitale sur le quartz peut provoquer des dommages permanents en raison de la chaleur, ce qui perturbera la distribution de la chaleur. C’est difficile à corriger, alors il vaut mieux éviter cela.