Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Lorsque vous gérez une salle propre de classe 100, même une infime quantité de poussière peut être désastreuse. Dans le secteur des semi-conducteurs, les vrais ennemis sont les gaz émis par les matériaux, ainsi que les matériaux eux-mêmes qui se dégradent avec le temps. Pour éviter cela, nous utilisons une combinaison simple : des lampes infrarouges en quartz de haute pureté et des fils isolés en Téflon.
Les avantages du quartz de haute pureté
Nous utilisons du quartz synthétique pour fabriquer les enveloppes des lampes. La plupart des types de verre ne résistent pas à la chaleur : ils commencent alors à libérer des ions ou à se fissurer. C’est un vrai cauchemar pour vos plaques de silicium.
Ces lampes utilisent des rayonnements infrarouges à courte longueur d’onde. Au lieu de chauffer tout l’air autour d’elles, l’énergie est directement transmise au substrat. C’est un avantage énorme, car cela empêche les courants de convection de soulever de la poussière et de la déposer directement sur vos pièces en cours de travail.
Pourquoi nous insistons sur l’utilisation du Téflon
Voici le problème avec les fils en PVC ou en silicone standard : ils détestent la chaleur. Lorsqu’ils chauffent, ils libèrent des composés organiques volatils. En d’autres termes, ils émettent des gaz toxiques. Ces gaz se déposent sur le silicium, et soudainement, toute votre production devient inutilisable.
C’est pourquoi nous utilisons des fils recouverts de PTFE (Téflon). Ce matériau supporte bien la chaleur sans se dégrader. Pas de fumée, pas de fissures. Juste une chaleur efficace.
Quelques conseils pour les ingénieurs
Il faut être prudent : le quartz de haute pureté est fragile. Il résiste bien aux chocs thermiques, mais s’il est endommagé pendant l’installation, il se cassera. Assurez-vous que les supports d’installation permettent un léger jeu, afin d’éviter les points de stress.
De plus, faites attention à vos fils. Le Téflon ne se plie pas aussi facilement que le silicone. Si vous le pliez trop, vous risquez de détériorer son isolation. Laissez-le donc un peu lâche, et tout ira bien.
En résumé
En combinant le quartz avec du PTFE, on obtient un système de chauffage qui ne perd rien de son efficacité. On obtient ainsi la densité de chaleur nécessaire pour un séchage rapide, sans avoir à lutter contre les particules présentes dans l’air. C’est simplement efficace.