En la línea de producción, una oblea de 200 mm espera su turno para ser tratada con fotorrésisto. El proceso de calentamiento no es opcional; es una exigencia técnica. Cualquier desviación de temperatura, por pequeña que sea, puede afectar las dimensiones críticas de la oblea. En ese caso, el proceso se detiene. Para evitar esto, hemos diseñado un sistema de calentamiento basado en lámparas infrarrojas, lo que permite mantener la uniformidad térmica dentro de los rangos especificados.
Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico es el uso de emisores de infrarrojos de onda corta para lograr un calentamiento rápido y directo. El espectro de luz emitido por estas lámparas se propaga perfectamente a través del silicio y las capas finas. El sistema mantiene la uniformidad térmica dentro de ±0.1°C en toda la zona de procesamiento, y la repetibilidad se mantiene dentro de ±0.2°C entre diferentes ciclos de procesamiento.
La respuesta del sistema es inferior a 50 ms, lo que permite mantener la temperatura adecuada durante los procesos de calentamiento y curado. El diseño del sistema también asegura un entorno limpio: operación en clase 1–100, sin generación de partículas, verificada en tiempo real. Además, los carcames de las lámparas están hechos de materiales de alta pureza, lo que reduce la emisión de gases.
¿Por qué funciona donde se necesita? En la litografía, se necesita un calentamiento preciso para mantener la espesor adecuado del fotorrésisto y eliminar las ondas estacionarias. En el embalaje, se necesita un proceso de curado que permita la formación de enlaces químicos sin sobrecalentar los materiales utilizados. En los procesos de limpieza y secado, se necesita calor controlado para eliminar los solventes sin causar problemas.
Estas lámparas permiten este control, y lo hacen utilizando menos energía que los hornos convencionales. La rápida reducción de temperatura también reduce el tiempo de ciclo. Hemos visto que estas lámparas pueden funcionar más de 5,000 horas sin perder más del 5% de su rendimiento, lo que significa menos cambios en las lámparas y un proceso más estable.
Esto es lo que necesita saber antes de proceder con la instalación: la instalación depende de que el equipo cuente con las características mecánicas y eléctricas adecuadas. Es necesario conocer la tensión requerida, el tipo de conector y el sistema de enfriamiento (aire forzado o agua) antes de realizar el pedido.
La luz emitida por las lámparas puede ser afectada por sombras causadas por los soportes y accesorios utilizados. Por lo tanto, la alineación y la forma del haz de luz son aspectos importantes en la configuración del sistema. Una vez que todo esté ajustado, el proceso permanecerá estable.