Mantener una sala limpia de clase 100 realmente limpia
Cuando se gestiona una sala limpia de clase 100, incluso la menor cantidad de polvo puede ser un desastre. En el mundo de los semiconductores, los verdaderos enemigos son los gases que se liberan y los materiales que se descomponen con el tiempo. Para evitar esto, utilizamos una combinación sencilla: lámparas de cuarzo de alta pureza y cables aislados con Teflón.
El problema con el cuarzo de alta pureza
Utilizamos cuarzo sintético fusionado para las estructuras de las lámparas. La mayoría de los vidrios no pueden resistir el calor; comienzan a liberar iones o a desprender pequeñas partículas. Eso es un verdadero problema para las obleas de silicio.
Estas lámparas utilizan radiación infrarroja de onda corta. En lugar de calentar todo el aire a su alrededor, la energía va directamente al sustrato. Esto es excelente, ya que evita que las corrientes de convección levanten polvo y lo depositen sobre las superficies de trabajo.
Por qué insistimos en usar Teflón
El problema con los cables de PVC o silicona está en que odian el calor. Cuando se calientan, liberan compuestos orgánicos volátiles. Esos gases se depositan sobre el silicio, y de repente toda la producción se vuelve inútil.
Por eso utilizamos cables recubiertos con PTFE (Teflón). Este material puede resistir el calor sin problemas. No hay humo ni desprendimiento de partículas. Solo energía limpia.
Algunos consejos para los ingenieros
Hay que tener cuidado con el cuarzo de alta pureza: es frágil. Aunque soporta bien los impactos térmicos, si se daña durante la instalación, se romperá. Asegúrese de que los soportes de montaje tengan algo de flexibilidad para no generar puntos de estrés.
También hay que prestar atención a los cables. El Teflón no se dobla tan fácilmente como el silicio. Si se dobla, existe el riesgo de que se dañe el aislamiento. Simplemente, deje que los cables estén un poco sueltos y todo estará bien.
Todo junto
Cuando se combina el cuarzo con PTFE, se obtiene un sistema de calefacción que no pierde nada de eficiencia. Se obtiene la densidad de calor necesaria para un secado rápido, pero no hay problemas relacionados con las partículas en el flujo de aire. Simplemente funciona.