¿Por qué la calefacción por infrarrojos direccional es la solución ideal para las salas limpias?
La mayoría de los calentadores funcionan calentando el aire que los rodea, y ese calor, a su vez, calienta todo lo que se intenta calentar. En una sala limpia dedicada a la fabricación de semiconductores, esto representa un verdadero problema.
Cuando se calienta todo el interior de una máquina, ese calor no se queda allí. Se distribuye por toda la máquina. De repente, la carcasa de la máquina se vuelve muy caliente al tacto, lo cual representa un riesgo para los operadores. Además, los sensores sensibles también se ven afectados por el calor ambiente.
¿Cómo resolvemos este problema?
Utilizamos lámparas de infrarrojos de onda corta. Pueden considerarse como linternas, pero que emiten calor. La radiación viaja en línea recta; no afecta al aire que atraviesa, sino solo al objeto que la absorbe. Al ajustar la distancia focal, podemos dirigir esa energía directamente hacia la oblea o el sustrato que queremos calentar. La energía llega al objetivo y se detiene ahí. Como las paredes internas de la máquina no están en línea recta con la fuente de calor, permanecen frías.
Detalles técnicos sobre el hardware
Para lograr la densidad de calor necesaria sin que la carcasa de la máquina se derrita, utilizamos estas lámparas en ciclos de alta intensidad y breve duración. Usamos envolturas de vidrio de cuarzo para que las lámparas puedan alcanzar la temperatura deseada casi instantáneamente. Además, utilizamos reflectores especiales para mantener el haz de luz concentrado. Esto evita que el calor se difunda por el resto de la estructura de la máquina.
Un consejo importante: asegúrese de que la alineación de los espejos sea precisa. Si hay incluso unos pocos grados de desviación, ya no estará calentando la oblea, sino que estarás dañando los circuitos internos y las placas de la carcasa de la máquina.
Qué significa esto en la práctica
Lo mejor de todo es que puede prescindir de esos enormes ventiladores de refrigeración internos. Esos aparatos son ruidosos y, lo que es más importante, generan partículas que no se deben tener en una sala limpia. Además, permite un tiempo de calentamiento más rápido y una carcasa de la máquina que no quema la mano al tocarla.
Un último consejo: asegúrese de que su fuente de alimentación pueda manejar el aumento repentino de corriente cuando las lámparas se encienden. Si los cables son demasiado delgados, habrá caídas de voltaje, y la consistencia de la temperatura se verá afectada.