Na lince 300 mm není odchylka o 2 °C během procesu měkkého zahřívání jen posunem v rozsahu CD. Jedná se o ztrátu velkého množství waférů. Proto jsme vyvinuli kvartovou halogenovou žárovku, která udržuje teplotní podmínky v požadovaném rozsahu, i když je provozní zařízení v plné kapacitě.
Co je důležité uvnitř zařízení
Emitorem je krátkovlnný halogen umístěný v obalu z vysoce čistého kvartzu. Ten vydává rychlé, radiální teplo s nízkou tepelnou setrvačností. Na povrchu waféru zůstává rovnoměrnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, takže fotoresistent dostává konzistentní teplotu bez výskytu „horkých bodů“. Profil žárovky umožňuje udržení přesných teplotních podmínek jak během procesu měkkého, tak i tvrdého zahřívání. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní, což umožňuje udržet kritické rozměry v požadovaných mezích i během dlouhodobého provozu. Kompatibilita s prostředím tříd 1–100 pramení z použití materiálů s nízkou mírou uvolňování plynů a z konstrukce, která nevytváří nadměrné množství částic při zahřátí.
Proč je to důležité v litografii
V litografii přímo souvisí opakovatelnost teploty s kvalitou výrobku. Díky této žárovce lze dosáhnout konzistentní kontroly šířky linek, menšího počtu vadných výrobků a menších odchylek, které je potřeba napravovat během procesu zahřívání. Rychlá reakce na změny teploty zkracuje dobu cyklu bez nadměrného zahřátí. Stabilní výstupní hodnoty zabraňují vzniku odpadních produktů. Zařízení fungovalo více než 5 000 hodin s poklesem výstupního výkonu menším než 5 %, což znamená méně nutností úprav a méně plánovaných výpadků. Spotřeba energie je nízká, protože teplo je přizpůsobeno ploše waféru, nikoli hmotnosti celé komory.
Poznámky pro praktické využití
Žárovka nemá ráda lokální „horké body“, proto ji je nutné namontovat podle specifikované orientace a s odpovídajícím prouděním vzduchu. Je nutné zkontrolovat geometrii reflektoru a teplotní limity konektoru – jinak dojde k nerovnoměrnému zahřevu. Žárovka je kompatibilní se standardním vybavením OEM, ale je potřeba ověřit její integraci během preventivní údržby, aby nedošlo k nesouladům v konektorech a aby byly zachovány požadované parametry prostředí v čistírně.